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ECOSYS Scrubber PLASMA

Scrubber

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ECOSYS Scrubber PLASMA PLASMA 是一个先进的区域式等离子+水洗尾气处理系统(Local Scrubber)，旨在为当今苛刻的半导体生产过程中化学工艺提供可控的尾气气体调节环境。特别针对半导体制造中的气体工艺排放的 PFC。PLASMA 采用先进的模块化设计，可应用于客户制程泵前或泵后的工艺废气处理，独特的反应堆室设计和智能减排技术，是一个安全且经济有效的减排系统. 应用:  • 所有的 PFC工艺气体 优势: • 卓越的 PFCs减排效率 • 低电力消耗，1-6KW • 模块化设计，可用于制程 PUMP的前置或后置 • ＞2000℃的处理温度，99%高温分解处理能力 • 低用水量和循环水系统 • 可匹配不同客户的制程需求，配有双腔设计， • 低使用成本 • 易于安装和服务 • 第三方认证，SEMI S2认证，CE-mark认证 • 备有以太网 • 无需燃料
ECOSYS Scrubber Guardian GS91-Duo

Scrubber

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ECOSYS Scrubber Guardian GS91-Duo Guardian系列是可靠的行业标准，是对制程气体进行燃烧和热氧化方式。Guardian 系统设计用于使用活性火焰燃烧对残余工艺气体进行热氧化。制程中排出的气体通过主燃烧室的火焰壁，保证易 燃和自燃工艺气体副产品被充分燃烧处理。 在 Guardian中,通过注入天然气燃料（由冗余燃料点燃），产生活性火焰锋。稀释空气垂直于工 艺气体流入腔室。这为高效空气和工艺气体混合创造了旋转作用。燃烧室和气体是空气冷却的，不需 要水冷却。冷却后的反应气体从保护罩中流出，并排到工厂的排气系统。多重安全联锁装置在操作期间提供高水平的安全性。. 全世界超过 2000台装置已经证明，Guardian系列在处理工艺废水和气体柜排气管路中的易燃气 体方面是安全和有效的。燃料和点火器的瞬时关闭消除了来自上游气流的潜在点火源。由于没有移动 部件，维修间隔以年为单位进行平均故障间隔时间测量。Guardian技术是一种行之有效的热氧化解决 方案。 应用： •多晶硅 • 化学气相沉积 •自燃的/可燃气体燃烧 •气柜排气净化 优势：  • 双延长式反应器，每个反应器配有 2-4个进口（客户选型,最多可以多达 16进口） •可同时对多工艺室和/或炉管的废气处理 •大处理量，>800SLM •特殊结构设计，H2处理量 >300SLM •根据制程需要可以增加水洗装置，（客户根据制程需求可选） •客户低成本拥有 •无电加热元件，可立即冷却 •安全、可靠运行的防回火系统 •天然气燃料支持 •维护成本低 •按年计算的平均故障间隔时间 •S2-93 认证 • CE 标志认证
ECOSYS Scrubber Marathon 8600

Scrubber

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ECOSYS Scrubber Marathon 8600 Marathon 8600是一个先进的，燃烧水洗处理系统，旨在为当今苛刻的半导体和平板显示工艺化学提供一个可控的气体调节环境。该系统是专门设计用于优良的 PFC 减排效率，以帮助工业实现其环境的目标和承诺。马拉松以其先进的反应堆室设计和智能减排技术，为延长 PM 循环提供了卓越的颗粒管理和成本效益高的减排解决方案。Marathon的六入口组件和高流量能力可以被配置成通过处理每个减排单元的多个工艺工具来进一步降低前期资本成本和 CoO，并且提供 100%具有自动备份能力的工艺，保持制程工具正常运行。 应用: • 半导体和平板显示器 优势: • 六入口组件 • 出色的 PFC减排效率 • 有限的 NOx和 CO排放 • 优良的颗粒管理技术 • 高流量处理能力 • 减少水消耗和循环水系统 • 稳定的热处理 • 低成本维护 • 易于安装和服务 • 第三方认证，符合 SEMI S2，CE认证 • 以太网准备
Marathon M91

Scrubber

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M91 是一个先进的燃烧-水洗处理系统，旨在为当今苛刻的半导体和平板显示器生产过程中化学工艺提供可控的尾气气体调节环境。 M91 的设计可使废气通过主腔室的火焰壁，从而确保点燃易燃和自燃过程气体, 然后在以湿式洗涤系统以去除水溶性有害物质。 M91符合用于氟化温室气体的受控分解和氧化处理的行业标准。 Marathon M91 燃烧-水洗处理行业标准 应用  • 半导体 • 平板显示器   优势  • 低功耗 • 有限的NOx和CO排放 • 高流量 • 减少水的消耗和循环水系统 • 拥有成本低 • 易于安装和服务 • SEMI S2 认证，CE-认证 • 备有以太网
ECOSYS Scrubber Vector

Scrubber

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ECOSYS Scrubber Vector 可靠的处理系统对于先进工艺工具的生产率至关重要。处理解决方案必须具有高的正常运行时间和足够的灵活性以适应不断变化的过程和环境需求。Ecosys Vector®系列独特地设计，适合于应对这些挑战 Vector®3000 是应用于多种工艺（包括蚀刻和 EPI），经过验证的解决方案，广泛的应用程序和处理效率数据库为给定制程定提供了最佳的解决方案。 Vector ULTRA 3500是金属蚀刻工艺的已经验证的解决方案。该系统提供多达四个工艺废水入口，并专门用于高颗粒形成和金属蚀刻工艺。 Vector 6000 使用第二代自燃入口，其设计目的是在不使用外部燃料源的情况下将自燃气体减少到LEL 的最小程度。该处理溶液可配置为使用受控的 CDA添加到进口，安全地处理多达三个含有自燃物的废水流。 应用： Vector 3000 •外延（Epi) •蚀刻(Etch) •Tungsten CVD Vector 3500： •金属刻蚀(Metal Etch) Vector 6000： •氮化硅(Silicon Nitride)
ECOSYS Scrubber Marathon 8500

Scrubber

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ECOSYS Scrubber Marathon 8500 Marathon8500 是一个先进的，燃烧-水洗处理系统，旨在为当今苛刻的半导体和平板显示器生产过程中化学工艺提供可控的尾气气体调节环境。Marathon 符合控制分解和氧化处理易燃、发热、腐蚀性和微粒生成工艺配方的工业标准。 Marathon8500 特别针对半导体制造中的气体流出物和平板显示工业的高颗粒负载工艺中的 PFC。 Marathon8500 采用先进的反应堆室设计和智能减排技术，是一个安全且经济有效的系统。 应用：  • 所有半导体和平板显示器 优势： • 优秀的 PFCs减排效率 • 限制性 NOx和 CO排放 • 先进的颗粒管理技术 • 高流量 • 降低用水量和循环水系统 •低成本所有权 •易于安装和服务 •第三方认证，SEMI S2认证，CE-mark认证 •备有以太网
ECOSYS Scrubber Guardian GS8

Scrubber

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ECOSYS Scrubber Guardian GS8 Guardian系列是可靠的行业标准，是对制程气体进行燃烧和热氧化方式。Guardian 系统设计用于使用活性火焰燃烧对残余工艺气体进行热氧化。制程中排出的气体通过主燃烧室的火焰壁，保证易燃和自燃工艺气体副产品被充分燃烧处理。 在 Guardian中,通过注入少量氢气或天然气燃料（由冗余燃料点燃），产生活性火焰锋。稀 释空气垂直于工艺气体流入腔室。这为高效空气和工艺气体混合创造了旋转作用。燃烧室和气体 是空气冷却的，不需要水冷却。冷却后的反应气体从保护罩中流出，并流到房屋的排气系统。多重安全联锁在操作期间提供高水平的安全性。. 全世界超过 1800 个装置已经证明，Guardian系列在处理工艺废水和气体柜排气管路中的易燃气体方面是安全和有效的。燃料和点火器的瞬时关闭消除了来自上游气流的潜在点火源。由于没有移动 部件，维修间隔以年为单位进行平均故障间隔时间测量。Guardian 技术是一种行之有效的热氧化解决方案。 应用： •多晶硅 • 化学气相沉积 •自燃的/可燃气体燃烧 •气柜排气净化 优势： •多工艺室和/或炉管的同时处理 •低成本所有权 •无电加热元件立即冷却 •安全、可靠运行的防回火系统 • 天然气燃料 •维护要求低 •按年计算的平均故障间隔时间 • S2-93一致 • CE 标志认证
ECOSYS Scrubber CDO863+

Scrubber

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ECOSYS Scrubber CDO863+ CDO™系列是一种先进的电热水洗处理系统，设计用于为当今苛刻的半导体工艺化学提供可控的气体调节环境。 CDO系列是控制分解氧化的工业标准。易燃、发热、腐蚀和微粒生成工艺配方的处理。 CDO 863是专门设计来处理由等离子体室清洁应用产生的氟，而不使用燃料或有毒试剂。CDO 863采用先进的耐腐蚀金属合金制造，是 F2使用点处理最安全、成本效益最高的减缓系统，确保客户具有最 高的可靠性和工具运行时间。 结合在 CDO 863中的专利水试剂技术和系统可靠性的最新进展为处理含氟废水提供了最低的所有权成本。 应用: • 含氟工艺室气体处理优势特点 • 设计用于在没有燃料或有毒试剂的情况下减少制程中的氟 • 将处理来自多个工艺出口的不兼容气体 • 循环水系统降低用水量 • 无堵塞入口设计 • 最低采购成本 • 使用耐腐蚀性的先进合金材料 • 标准加压排水管安装方便 • 水分抑制系统减少下游冷凝 • Semi S2 and CE compliant认证 配置: • 进口数量（1-4） • 阻燃油箱材料-FM4910 工具通信和互锁: • 多重干式接触器满足客户定义的要求 选项和附件: • 远程指示框 • 去离子水发生器

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