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上海辉宏科技有限公司

质量为先，信誉为重，管理为本，服务为诚。

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ELECTRONICS

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我们的优势 OUR ADVANTAGE

最新技术

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品质保障

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质量为先，信誉为重，管理为本，服务为诚。

上海辉宏科技成立于2014年，由在半导体行业从业多年的一群资深技术专家组建，秉持在「卓越专精的技术、力求完美的品质、准确控制的效率、顾客满意的服务、承诺负责的诚信」五大经营理念下，提供半导体业者所需的最佳技术支援服务，并成为忠实的事业伙伴。

上海辉宏科技有限公司是一家专业从事半导体仪器仪表，包材，耗材，配件销售的专业厂商，集销售、设计、维修、售后服务于一体，具有专业的销售队伍、一流的工程师技术，为厂家提供仪器，包材，耗材的销售、咨询、安装、设计、维修、及售后服务一条龙服务。主要服务于半导体、电子材料、液晶面板、精密加工等行业。

关于我们 ABOUT US

产品列表 PRODUCT SHOW

ECOSYS Scrubber PLASMA

Scrubber

市场价:￥0.00

价格:￥0.00

ECOSYS Scrubber PLASMA PLASMA 是一个先进的区域式等离子+水洗尾气处理系统(Local Scrubber)，旨在为当今苛刻的半导体生产过程中化学工艺提供可控的尾气气体调节环境。特别针对半导体制造中的气体工艺排放的 PFC。PLASMA 采用先进的模块化设计，可应用于客户制程泵前或泵后的工艺废气处理，独特的反应堆室设计和智能减排技术，是一个安全且经济有效的减排系统. 应用:  • 所有的 PFC工艺气体 优势: • 卓越的 PFCs减排效率 • 低电力消耗，1-6KW • 模块化设计，可用于制程 PUMP的前置或后置 • ＞2000℃的处理温度，99%高温分解处理能力 • 低用水量和循环水系统 • 可匹配不同客户的制程需求，配有双腔设计， • 低使用成本 • 易于安装和服务 • 第三方认证，SEMI S2认证，CE-mark认证 • 备有以太网 • 无需燃料
ECOSYS Scrubber Guardian GS91-Duo

Scrubber

市场价:￥0.00

价格:￥0.00

ECOSYS Scrubber Guardian GS91-Duo Guardian系列是可靠的行业标准，是对制程气体进行燃烧和热氧化方式。Guardian 系统设计用于使用活性火焰燃烧对残余工艺气体进行热氧化。制程中排出的气体通过主燃烧室的火焰壁，保证易 燃和自燃工艺气体副产品被充分燃烧处理。 在 Guardian中,通过注入天然气燃料（由冗余燃料点燃），产生活性火焰锋。稀释空气垂直于工 艺气体流入腔室。这为高效空气和工艺气体混合创造了旋转作用。燃烧室和气体是空气冷却的，不需 要水冷却。冷却后的反应气体从保护罩中流出，并排到工厂的排气系统。多重安全联锁装置在操作期间提供高水平的安全性。. 全世界超过 2000台装置已经证明，Guardian系列在处理工艺废水和气体柜排气管路中的易燃气 体方面是安全和有效的。燃料和点火器的瞬时关闭消除了来自上游气流的潜在点火源。由于没有移动 部件，维修间隔以年为单位进行平均故障间隔时间测量。Guardian技术是一种行之有效的热氧化解决 方案。 应用： •多晶硅 • 化学气相沉积 •自燃的/可燃气体燃烧 •气柜排气净化 优势：  • 双延长式反应器，每个反应器配有 2-4个进口（客户选型,最多可以多达 16进口） •可同时对多工艺室和/或炉管的废气处理 •大处理量，>800SLM •特殊结构设计，H2处理量 >300SLM •根据制程需要可以增加水洗装置，（客户根据制程需求可选） •客户低成本拥有 •无电加热元件，可立即冷却 •安全、可靠运行的防回火系统 •天然气燃料支持 •维护成本低 •按年计算的平均故障间隔时间 •S2-93 认证 • CE 标志认证
ECOSYS Scrubber Marathon 8600

Scrubber

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ECOSYS Scrubber Marathon 8600 Marathon 8600是一个先进的，燃烧水洗处理系统，旨在为当今苛刻的半导体和平板显示工艺化学提供一个可控的气体调节环境。该系统是专门设计用于优良的 PFC 减排效率，以帮助工业实现其环境的目标和承诺。马拉松以其先进的反应堆室设计和智能减排技术，为延长 PM 循环提供了卓越的颗粒管理和成本效益高的减排解决方案。Marathon的六入口组件和高流量能力可以被配置成通过处理每个减排单元的多个工艺工具来进一步降低前期资本成本和 CoO，并且提供 100%具有自动备份能力的工艺，保持制程工具正常运行。 应用: • 半导体和平板显示器 优势: • 六入口组件 • 出色的 PFC减排效率 • 有限的 NOx和 CO排放 • 优良的颗粒管理技术 • 高流量处理能力 • 减少水消耗和循环水系统 • 稳定的热处理 • 低成本维护 • 易于安装和服务 • 第三方认证，符合 SEMI S2，CE认证 • 以太网准备
Marathon M91

Scrubber

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M91 是一个先进的燃烧-水洗处理系统，旨在为当今苛刻的半导体和平板显示器生产过程中化学工艺提供可控的尾气气体调节环境。 M91 的设计可使废气通过主腔室的火焰壁，从而确保点燃易燃和自燃过程气体, 然后在以湿式洗涤系统以去除水溶性有害物质。 M91符合用于氟化温室气体的受控分解和氧化处理的行业标准。 Marathon M91 燃烧-水洗处理行业标准 应用  • 半导体 • 平板显示器   优势  • 低功耗 • 有限的NOx和CO排放 • 高流量 • 减少水的消耗和循环水系统 • 拥有成本低 • 易于安装和服务 • SEMI S2 认证，CE-认证 • 备有以太网
东京计装流量计（Tokyo Keiso Flow Meter)

配件，耗材

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东京计装流量计（Tokyo Keiso Flow Meter),广泛应用与纯水（DI water），化学品（chemical），气体（N2,CDA,H2，AR,CL 等。
真空吸笔

治具

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代理H-square，客户定制，特点：1.全部使用防静电材料。2.笔头采用PEEK ESD,可耐250°高温，耐腐蚀，无惧划伤，自润滑。3.笔杆为POM+塑钢，高硬度，耐腐蚀，耐摩擦。4.专用笔座，自润滑，耐摩擦，降低particle产生。5.气管采用硅胶材料，防静电，最高可耐180°，拉伸长达2米。
RION KC-52

RION

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l光学系统：散射光学系统l粒径区分：0.3μm、<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;"><span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: &quot;Microsoft YaHei&quot;,&quot;黑体&quot;,Helvetica,Arial,Tahoma,sans-serif; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">0.5<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">μ<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: &quot;Microsoft YaHei&quot;,&quot;黑体&quot;,Helvetica,Arial,Tahoma,sans-serif; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">m<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">、<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;"><span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: &quot;Microsoft YaHei&quot;,&quot;黑体&quot;,Helvetica,Arial,Tahoma,sans-serif; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">1.0<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">μ<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: &quot;Microsoft YaHei&quot;,&quot;黑体&quot;,Helvetica,Arial,Tahoma,sans-serif; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">m<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">、<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;"><span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: &quot;Microsoft YaHei&quot;,&quot;黑体&quot;,Helvetica,Arial,Tahoma,sans-serif; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">2.0<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">μ<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: &quot;Microsoft YaHei&quot;,&quot;黑体&quot;,Helvetica,Arial,Tahoma,sans-serif; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">m<span style="background-color: transparent; color: rgb(0, 0, 0); font-family: 宋体; font-size: 19px; font-style: normal; font-variant: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; line-height: 28px; margin-bottom: 0px; margin-left: 0px; margin-right: 0px; margin-top: 0px; orphans: 2; padding-bottom: 0px; padding-left: 0px; padding-right: 0px; padding-top: 0px; text-align: left; text-decoration: none; text-indent: 0px; text-transform: none; -webkit-text-stroke-width: 0px; word-spacing: 0px;">、5.0μml流量: 2.83L/min。l最大定格粒子个数浓度：70,000/Ll显示：3.5英寸彩色LCD触摸荧幕l操作：按键和触摸屏l电源：AC充电器（输入电压：100-240V AC,50/60Hz）l使用温度/湿度：摄氏10度至40度/湿度85%,未结露 本公司提供销售，维修，校正等服务
艾本德/GE/贝克曼/哈希

实验室仪器耗材

市场价:￥0.00

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库存表（艾本德/GE/贝克曼/哈希）-3
瑞士万通，梅特勒耗材

实验室仪器耗材

市场价:￥0.00

价格:￥0.00

库存表（瑞士万通，梅特勒耗材）-2
MIILIPORE

配件，耗材

市场价:￥0.00

价格:￥0.00

库存表（密理博耗材）-1