ECOSYS Scrubber Marathon 8600
Marathon 8600是一个先进的，燃烧水洗处理系统，旨在为当今苛刻的半导体和平板显示工艺化 学提供一个可控的气体调节环境。该系统是专门设计用于优良的 PFC 减排效率，以帮助工业实现 其环境的目标和承诺。马拉松以其先进的反应堆室设计和智能减排技术，为延长 PM 循环提供了卓越的颗粒管理和成本效益高的减排解决方案。Marathon的六入口组件和高流量能力可以被配置成 通过处理每个减排单元的多个工艺工具来进一步降低前期资本成本和 CoO，并且提供 100%具有自动备份能力的工艺，保持制程工具正常运行。
应用:
• 半导体和平板显示器
优势:
• 六入口组件
• 出色的 PFC减排效率
• 有限的 NOx和 CO排放
• 优良的颗粒管理技术
• 高流量处理能力
• 减少水消耗和循环水系统
• 稳定的热处理
• 低成本维护
• 易于安装和服务
• 第三方认证，符合 SEMI S2，CE认证
• 以太网准备