M91 是一个先进的燃烧-水洗处理系统，旨在为当今苛刻的半导体和平板显示器生产过程中化学工艺提供可控的尾气气体调节环境。
M91 的设计可使废气通过主腔室的火焰壁，从而确保点燃易燃和自燃过程气体, 然后在以湿式洗涤系统以去除水溶性有害物质。
M91符合用于氟化温室气体的受控分解和氧化处理的行业标准。
Marathon M91 燃烧-水洗处理行业标准
应用 
• 半导体 • 平板显示器
 
优势 
• 低功耗
• 有限的NOx和CO排放
• 高流量
• 减少水的消耗和循环水系统
• 拥有成本低
• 易于安装和服务
• SEMI S2 认证，CE-认证
• 备有以太网