ECOSYS Scrubber CDO863+
CDO™系列是一种先进的电热水洗处理系统，设计用于为当今苛刻的半导体工艺化学提供可控的气体调节环境。
CDO系列是控制分解氧化的工业标准。 易燃、发热、腐蚀和微粒生成工艺配方的处理 。
CDO 863是专门设计来处理由等离子体室清洁应用产生的氟，而不使用燃料或有毒试剂。CDO 863采 用先进的耐腐蚀金属合金制造，是 F2使用点处理最安全、成本效益最高的减缓系统，确保客户具有最
高的可靠性和工具运行时间。
结合在 CDO 863中的专利水试剂技术和系统可靠性的最新进展为处理含氟废水提供了最低的所有权成本。
应用:
• 含氟工艺室气体处理 优势特点
• 设计用于在没有燃料或有毒试剂的情况 下减少制程中的氟
• 将处理来自多个工艺出口的不兼容气体
• 循环水系统降低用水量
• 无堵塞入口设计
• 最低采购成本
• 使用耐腐蚀性的先进合金材料
• 标准加压排水管安装方便
• 水分抑制系统减少下游冷凝
• Semi S2 and CE compliant认证
配置:
• 进口数量（1-4）
• 阻燃油箱材料-FM4910
工具通信和互锁:
• 多重干式接触器满足客户定义的要求
选项和附件:
• 远程指示框
• 去离子水发生器