ECOSYS Scrubber Guardian GS91-Duo
Guardian系列是可靠的行业标准，是对制程气体进行燃烧和热氧化方式。Guardian 系统设计用于使用活性火焰燃烧对残余工艺气体进行热氧化。制程中排出的气体通过主燃烧室的火焰壁，保证易
燃和自燃工艺气体副产品被充分燃烧处理。
在 Guardian中,通过注入天然气燃料（由冗余燃料点燃），产生活性火焰锋。稀释空气垂直于工
艺气体流入腔室。这为高效空气和工艺气体混合创造了旋转作用。燃烧室和气体是空气冷却的，不需
要水冷却。冷却后的反应气体从保护罩中流出，并排到工厂的排气系统。多重安全联锁装置在操作期 间提供高水平的安全性。.
全世界超过 2000台装置已经证明，Guardian系列在处理工艺废水和气体柜排气管路中的易燃气
体方面是安全和有效的。燃料和点火器的瞬时关闭消除了来自上游气流的潜在点火源。由于没有移动
部件，维修间隔以年为单位进行平均故障间隔时间测量。Guardian技术是一种行之有效的热氧化解决
方案。
应用：
•多晶硅
• 化学气相沉积
•自燃的/可燃气体燃烧
•气柜排气净化
优势： 
• 双延长式反应器，每个反应器配有 2-4个进口 （客户选型,最多可以多达 16进口）
•可同时对多工艺室和/或炉管的废气处理
•大处理量，>800SLM
•特殊结构设计，H2处理量 >300SLM
•根据制程需要可以增加水洗装置，（客户根据制 程需求可选）
•客户低成本拥有
•无电加热元件，可立即冷却
•安全、可靠运行的防回火系统
•天然气燃料支持
•维护成本低
•按年计算的平均故障间隔时间
•S2-93 认证 • CE 标志认证