ECOSYS Scrubber Vector
可靠的处理系统对于先进工艺工具的生产率至关重要。处理解决方案必须具有高的正常运行时间和足够的灵活性 以适应不断变化的过程和环境需求。Ecosys Vector®系列独特地设计，适合于应对这些挑战
Vector®3000 是应用于多种工艺（包括蚀刻和 EPI），经过验证的解决方案，广泛的应用程序和处理效率数据库为给定制程定提供了最佳的解决方案。
Vector ULTRA 3500是金属蚀刻工艺的已经验证的解决方案。该系统提供多达四个工艺废水入口，并专门用于高颗粒形成和金属蚀刻工艺。
Vector 6000 使用第二代自燃入口，其设计目的是在不使用外部燃料源的情况下将自燃气体减少到LEL 的最小程度。该处理溶液可配置为使用受控的 CDA添加到进口，安全地处理多达三个含有自燃物的废水流。
应用：
Vector 3000
•外延（Epi)
•蚀刻(Etch)
•Tungsten CVD
Vector 3500：
•金属刻蚀(Metal Etch)
Vector 6000：
•氮化硅(Silicon Nitride)