ECOSYS Scrubber PLASMA
PLASMA 是一个先进的区域式等离子+水洗尾气处理系统(Local Scrubber)，旨在为当今苛刻的半导体生产过程中化学工艺提供可控的尾气气体调节环境。 特别针对半导体制造中的气体工艺排放的 PFC。PLASMA 采用先进的模块化设计，可应用于客户制程泵前或泵后的工艺废气处理，独特的反应堆室设计和智能减排技术， 是一个安全且经济有效的减排系统.
应用: 
• 所有的 PFC工艺气体
优势:
• 卓越的 PFCs减排效率
• 低电力消耗，1-6KW
• 模块化设计，可用于制程 PUMP的前置或后置
• ＞2000℃的处理温度 ，99%高温分解处理能力
• 低用水量和循环水系统
• 可匹配不同客户的制程需求，配有双腔设计，
• 低使用成本
• 易于安装和服务
• 第三方认证，SEMI S2认证，CE-mark认证
• 备有以太网
• 无需燃料