ECOSYS Scrubber Marathon 8500
Marathon8500 是一个先进的，燃烧-水洗处理系统，旨在为当今苛刻的半导体和平板显示器生产过程中化学工 艺提供可控的尾气气体调节环境。Marathon 符合控制分解和氧化处理易燃、发热、腐蚀性和微粒生成工艺配方 的工业标准。
Marathon8500 特别针对半导体制造中的气体流出物和平板显示工业的高颗粒负载工艺中的 PFC。 Marathon8500 采用先进的反应堆室设计和智能减排技术，是一个安全且经济有效的系统。
应用： 
• 所有半导体和平板显示器
优势：
• 优秀的 PFCs减排效率
• 限制性 NOx和 CO排放
• 先进的颗粒管理技术
• 高流量
• 降低用水量和循环水系统
•低成本所有权
•易于安装和服务
•第三方认证，SEMI S2认证，CE-mark认证
•备有以太网