ECOSYS Scrubber Guardian GS8
Guardian系列是可靠的行业标准，是对制程气体进行燃烧和热氧化方式。Guardian 系统设计用于使用活性火焰燃烧对残余工艺气体进行热氧化。制程中排出的气体通过主燃烧室的火焰壁，保证易燃和自燃工艺气体副产品被充分燃烧处理。
在 Guardian中,通过注入少量氢气或天然气燃料（由冗余燃料点燃），产生活性火焰锋。稀
释空气垂直于工艺气体流入腔室。这为高效空气和工艺气体混合创造了旋转作用。燃烧室和气体
是空气冷却的，不需要水冷却。冷却后的反应气体从保护罩中流出，并流到房屋的排气系统。多 重安全联锁在操作期间提供高水平的安全性。.
全世界超过 1800 个装置已经证明，Guardian系列在处理工艺废水和气体柜排气管路中的易燃气体方面是安全和有效的。燃料和点火器的瞬时关闭消除了来自上游气流的潜在点火源。由于没有移动
部件，维修间隔以年为单位进行平均故障间隔时间测量。Guardian 技术是一种行之有效的热氧化解决方案。
应用：
•多晶硅
• 化学气相沉积
•自燃的/可燃气体燃烧
•气柜排气净化
优势：
•多工艺室和/或炉管的同时处理
•低成本所有权
•无电加热元件立即冷却
•安全、可靠运行的防回火系统
• 天然气燃料 •维护要求低
•按年计算的平均故障间隔时间
• S2-93一致 • CE 标志认证